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四軸FSM雷射穩源系統

 

技術名稱

四軸FSM雷射穩源系統

技術摘要

隨著科技進步,雷射光源被廣泛應用於各種不同的領域,其相關產業皆生產高品質與高精密之高單價產品。許多研究顯示,雷射光之精度與穩定度不僅受外在環境溫度、震動所影響,也會受本身之結構、熱源及輸入源等影響,故克服上述之問題使雷射光品質則能提升雷射儀器之精度以及價值。本專利提出一套雷射光源補償系統及一四自由度之Fast steer mirror (FSM),有效的改善雷射光源穩定度及降低擾動誤差(總共有四自由度誤差,兩平移兩旋轉) 並改善傳統雷射穩源系統零件過多,光程過長使雷射源誤差被放大之問題。

現有技術描述、現有技術問題及其缺陷描述

  1. 現有市售之FSM僅能使雷射產生兩個自由度的偏擺,無法雷射產生平移。
  2. 現有市售之FSM雷射穩源系統零件過多,不適合安裝於狹小的空間內。
  3. 現有市售之FSM雷射穩源系統光程過長,會導致雷射源的角度誤差被放大。

本技術發明目的、所欲解決之問題、能提昇的功效

  1. 本技術只有1FSM,可使雷射源產生兩個自由度的偏擺之外,還可使射產生兩個自由度平移。
  2. 減少市售品之零件,FSM雷射穩原系統,易安裝於狹小的空間內。
  3. 改善市售之FSM雷射穩源系統光程過長之問題,降低雷射源的角度誤差對系統影響。

適用產業類別

  1. 光電業
  2. 機械加工業

聯絡窗口

單位名稱:產學創新總中心

聯絡人:黃意婷

電話:06-2360524133

電子郵件:clairehu@mail.ncku.edu.tw

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