技術名稱

考慮機台交互作用之辨識良率損失原因的系統與方法

技術摘要

提高產品良率對於公司的盈利能力表現至關重要，特別是在研發和量產階段，因此，在這些階段應迅速找出產品良率損失的根本原因，以節省生產成本。但當在找尋問題良率的過程中，若只搜尋造成問題良率的關鍵設備或關鍵製程參數，若當關鍵設備/製程參數與其他設備/製程參數之間存在交互作用時；此外，這種對不良率的影響比原始單一設備/製程參數的影響大時，現有的良率管理方法可能無法正確找出根本原因。為了彌補這種不足，本研究開發了“交互作用搜尋演算法（IESA）”。 IESA不僅可以識別出對不良率影響下之交互作用的存在，還可以確定導致這種交互作用關鍵製程參數的閾值。

現有技術描述、現有技術問題及其缺陷描述

1. 當設備間產生交互作用影響時，僅改善搜尋出造成不良率的單一設備或單一製程參數，對良率的改善是有限的。
2. 現有良率管理方法中，僅能偵測出影響良率的關鍵參數，並無法告知使用者關鍵參數之閾值，ex: 僅能告知使用者壓力會對良率造成影響，並無法提供使用者建議壓力超過多少時會對良率造成影響。

本技術發明目的、所欲解決之問題、能提昇的功效

1. 搜尋出影響良率的交互作用設備或製程參數，並比較交互作用的設備或參數是否影響對良率的影響高於單一設備本身，倘若設備間存在交互作用時，且此交互作用高於單一設備本身時，改善倆倆交互作用設備比對改善單一設備本身會對良率的提升更有效益。
2. 搜尋出交互作用設備或製程參數後，進一步搜尋影響良率的製程參數閾值，透過此閾值的控制來達到對良率的提升。

適用產業類別

面板產業、半導體產業、LED產業、太陽能產業。

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