技術名稱

四軸FSM雷射穩源系統

技術摘要

隨著科技進步，雷射光源被廣泛應用於各種不同的領域，其相關產業皆生產高品質與高精密之高單價產品。許多研究顯示，雷射光源之精度與穩定度不僅受外在環境溫度、震動所影響，也會受本身之結構、熱源及輸入源等影響，故克服上述之問題使雷射光源品質則能提升雷射儀器之精度以及價值。本專利提出一套雷射光源補償系統及一四自由度之Fast steer mirror (FSM)，有效的改善雷射光源穩定度及降低擾動誤差(總共有四自由度誤差，兩平移兩旋轉)， 並改善傳統雷射穩源系統零件過多，光程過長使雷射源誤差被放大之問題。

現有技術描述、現有技術問題及其缺陷描述

1. 現有市售之FSM僅能使雷射產生兩個自由度的偏擺，無法雷射產生平移。
2. 現有市售之FSM雷射穩源系統零件過多，不適合安裝於狹小的空間內。
3. 現有市售之FSM雷射穩源系統光程過長，會導致雷射源的角度誤差被放大。

本技術發明目的、所欲解決之問題、能提昇的功效

1. 本技術只有1個FSM，可使雷射源產生兩個自由度的偏擺之外，還可使射產生兩個自由度平移。
2. 減少市售品之零件，FSM雷射穩原系統，易安裝於狹小的空間內。
3. 改善市售之FSM雷射穩源系統光程過長之問題，降低雷射源的角度誤差對系統影響。

適用產業類別

1. 光電業
2. 機械加工業

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